真空爐設備的故障可以大致分為系統洩漏，蒸汽供應故障，閥門故障，冷凝器故障，真空泵故障，儀器故障，模式設置錯誤等。
真空熱處理是一種金屬熱處理過程，其中金屬工件在1個大氣壓力下加熱（即在負壓下）。其中，真空熱處理所在的真空環境包括低真空，中型真空，高真空吸塵器和超高真空。
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